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Á¦Ç°¸í FE-SEM
¸ðµ¨¸í HITACHI-S4800
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»ç¾ç - Probe current : 1pA ~ 2nA
- Resolute : 1.0nm(15kV), 1.5nm(1kV)
- Magnification : x25 ~ x800,000
- Specimen size : Á¶°¢½ÃÆí ~ ¥è200mm
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   Normal SEM
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